euv和duv区别是什么
发布时间：2023-02-18 01:47:55
标签：euv和duv区别
euv和duv区别：1、duv基本上只能做到25nm，而euv能满足10nm以下的晶圆权制造；2、duv主要利用光的折射原理，而euv利用的光的反射原理，内部必须为真空操作。
euv和duv区别：
1、制程范围不同
duv：基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，却无法达到10nm以下。
euv：能满足10nm以下的晶圆权制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
2、发光原理不同
duv：光源为准分子激光，光源的波长能达到193纳米。
euv：激光激发等离子来发射EUV光子，光源的波长则为13.5纳米。
3、光路系统不同
duv：主要利用光的折射原理。其中，浸没式光刻机会在投影透镜与晶圆之间，填入去离子水，使得193nm的光波等效至134nm。
euv：利用的光的反射原理，内部必须为真空操作。
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